教學設備

高溫式熱機械分析儀、球磨機、超音波熔接機、電漿輔助原子層化學氣相沉積、高真空磁控電漿濺鍍機、鑽石刀快速切割機、自動熱鑲埋成型機、高真空濺鍍系統、奈米壓痕硬度試驗機、微影系統之雙對準曝光機、拉伸試驗機、衝擊試驗機、非破壞檢測儀器…

XRD

1.晶體相位的鑒別/定量 2.塊材和薄膜樣品的平均微晶尺寸、張力、微應變效應的測定3.定量薄膜、多層堆疊和生產零件的優先方位(結構)4.確認在塊材材料和薄膜樣品中無定型材料的結晶比率。
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整座P.P&PVC堅實力學結構,耐酸鹼、耐溫永不老化,適用於鹽霧、醋酸銅...等各種測試規格。專利噴頭與擴散裝置使落霧快速均勻。具有手動及全自動控制方式,最大設定時間可達9'99Hrs。 實驗完成後,具有自動除霧裝置,可清晰的觀察實驗室內之試品。
鹽水噴霧試驗機
圖片5
根據離子濺射原理進行薄膜製程。
高真空濺鍍系統
電子顯微鏡
光纖雷射Fiber Laser
根據所需條件可以調整重複頻率、瓦數、掃描速度等參數對樣品加工。
圖片3
根據所需條件可以調整重複頻率、瓦數、掃描速度、占空比等參數對樣品加工。
連續式雷射CW Laser (1064 nm)
圖片4
根據所需條件可以升溫速率、持溫時間等參數對樣品進行退火處理。
快速退火爐 (RTA)
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Alpha-step
1.具有精密真直度,提高再現性。 2. 採用直動式檢出器,無 ARC 誤差問題。 3. 具有各種尺寸 Table,客戶可指定尺寸。 4. 測定再現性,1 Sigma 5A° 以下。 5. 適合半導體100A°~100μm 薄 膜段差量測。